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光刻技術(shù)的原理是什么意思(光刻技術(shù)的原理是什么)

導(dǎo)讀 大家好,小皮來為大家解答以上問題。光刻技術(shù)的原理是什么意思,光刻技術(shù)的原理是什么這個很多人還不清楚,現(xiàn)在一起跟著小編來瞧瞧吧! 1、...

大家好,小皮來為大家解答以上問題。光刻技術(shù)的原理是什么意思,光刻技術(shù)的原理是什么這個很多人還不清楚,現(xiàn)在一起跟著小編來瞧瞧吧!

1、 光刻技術(shù)原理:集成電路制造中利用光學(xué)和化學(xué)反應(yīng)原理以及化學(xué)和物理刻蝕方法,將電路圖形轉(zhuǎn)移到單晶或介質(zhì)層表面,形成有效圖形窗口或功能圖形的工藝技術(shù)。

2、 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,光刻技術(shù)中轉(zhuǎn)移圖形的尺寸極限降低了2到3個數(shù)量級,并從常規(guī)的光學(xué)技術(shù)發(fā)展到電子束、X射線、微離子束、激光等新技術(shù)。所使用的波長已經(jīng)從4000埃擴展到0.1埃。

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