導(dǎo)讀 大家好，小體來為大家解答以上的問題。光刻機是干什么用的這個很多人還不知道,現(xiàn)在讓我們一起來看看吧！1 光刻機是芯片制造的核心設(shè)備之一
大家好，小體來為大家解答以上的問題。光刻機是干什么用的這個很多人還不知道,現(xiàn)在讓我們一起來看看吧！
1.光刻機是芯片制造的核心設(shè)備之一，根據(jù)用途可以分為幾種類型：用于芯片生產(chǎn)的光刻機；有包裝用的光刻機；在LED制造領(lǐng)域也有投影掩模對準器。
2.用于生產(chǎn)芯片的光刻機是中國半導(dǎo)體設(shè)備制造最大的短板。目前國內(nèi)晶圓廠需要的高端光刻機完全依賴進口。
3.掩模光刻機，也稱為掩模光刻機、曝光系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)等。常用的掩模光刻機是掩模對準光刻，所以稱為掩模對準系統(tǒng)。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗干燥、底涂、旋涂光刻膠、軟烤、對準曝光、后烤、顯影、硬烤、刻蝕等過程。光刻法是利用光來制作圖案(工藝)；平整硅晶片表面，然后將掩模上的圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上，從而將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時“復(fù)制”到硅晶片上的工藝。
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