根據(jù)電子時報報道，日本對于中國的半導(dǎo)體設(shè)備出口限制條例已經(jīng)在2023年的7月23日正式生效，DIGITIMES Research分析師Eric Chen表示日本此次對于中國的半導(dǎo)體設(shè)備出口限制，很有可能會包括光刻和薄膜沉積設(shè)備，以此來影響到中國半導(dǎo)體的制造業(yè)發(fā)展。
在日本的半導(dǎo)體設(shè)備出口限制條例正式開始實施以后，業(yè)內(nèi)人士紛紛開始猜測對于中國半導(dǎo)體行業(yè)的影響。據(jù)了解本次日本出臺的設(shè)備出口禁令有23種半導(dǎo)體設(shè)備，其中就包括光刻、熱處理、清洗、檢驗等多種設(shè)備。在光刻設(shè)備中，荷蘭地區(qū)的asml和日本地區(qū)的尼康，佳能公司是全球最主要的供應(yīng)商，據(jù)統(tǒng)計這幾家在光刻市場中的市場份額已經(jīng)達(dá)到了95%以上。在刻蝕市場中，美國地區(qū)的泛林集團(tuán)和日本地區(qū)的東京電子公司是最主要的供應(yīng)商，這兩家公司在全球中的市場份額已經(jīng)超過了90%。
在薄膜沉積設(shè)備中，除了美國地區(qū)的KLA和瑞士Evatec和荷蘭ASM以外，日本地區(qū)的真空技術(shù)株式會社和東京電子公司同樣是最主要的供應(yīng)商，這些公司在全球市場中的份額已經(jīng)達(dá)到了80%~90%。分析師Eric Chen經(jīng)過研究統(tǒng)計發(fā)現(xiàn)，在2022年全年中國市場中的半導(dǎo)體設(shè)備依舊有60%來自于美國、日本和荷蘭地區(qū)，其中日本是中國半導(dǎo)體設(shè)備最主要的進(jìn)口國，約占總進(jìn)口額的30%左右。
分析師Eric Chen認(rèn)為日本最新出臺的出口管制措施有將近一半都和薄膜加工設(shè)備有關(guān)，在光刻設(shè)備方面分析師Eric Chen認(rèn)為管制措施將會限制EUV掩膜沉積設(shè)備和與EUV工藝涂層有關(guān)的設(shè)備出口。在刻蝕設(shè)備方面，Eric Chen指出日本政府對于硅鍺的濕法刻蝕和干法刻蝕設(shè)備都有一定的出口限制。