導(dǎo)讀 俄羅斯媒體報(bào)道，圣彼得堡創(chuàng)建了一個(gè)光刻綜合體，包括一個(gè)在基本上進(jìn)行無掩模圖像采集和硅等離子化學(xué)蝕刻的設(shè)備，第1臺(tái)機(jī)器的成本約為500萬
俄羅斯媒體報(bào)道，圣彼得堡創(chuàng)建了一個(gè)光刻綜合體，包括一個(gè)在基本上進(jìn)行無掩模圖像采集和硅等離子化學(xué)蝕刻的設(shè)備，第1臺(tái)機(jī)器的成本約為500萬盧幣，折合人民幣約為36.74萬。除俄羅斯之外，其他國(guó)外的同類產(chǎn)品價(jià)值高達(dá)數(shù)10億盧幣。
在2023年4月，莫斯科電子技術(shù)學(xué)院承接貿(mào)工部開發(fā)制造芯片的光刻機(jī)項(xiàng)目。這個(gè)項(xiàng)目的主要投資者是俄羅斯政府，首期投資資金為6.7億盧比資金，折合人民幣約為5,100萬元。有相關(guān)研發(fā)專家表示，目前已經(jīng)開發(fā)出兩套用于生產(chǎn)微電子納米結(jié)構(gòu)的裝置，這種研發(fā)結(jié)果有可能會(huì)解決俄羅斯在微電子領(lǐng)域技術(shù)的主權(quán)問題。項(xiàng)目的負(fù)責(zé)人表示使用這種設(shè)施創(chuàng)建的膜在可靠性以及靈敏度方向都會(huì)優(yōu)于其他材料，同時(shí)，全部都是國(guó)產(chǎn)設(shè)備和技術(shù)。