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俄羅斯自研光刻機(jī)新進(jìn)展 成本還不足37萬元

導(dǎo)讀 俄羅斯媒體報(bào)道,圣彼得堡創(chuàng)建了一個(gè)光刻綜合體,包括一個(gè)在基本上進(jìn)行無掩模圖像采集和硅等離子化學(xué)蝕刻的設(shè)備,第1臺(tái)機(jī)器的成本約為500萬

俄羅斯媒體報(bào)道,圣彼得堡創(chuàng)建了一個(gè)光刻綜合體,包括一個(gè)在基本上進(jìn)行無掩模圖像采集和硅等離子化學(xué)蝕刻的設(shè)備,第1臺(tái)機(jī)器的成本約為500萬盧幣,折合人民幣約為36.74萬。除俄羅斯之外,其他國(guó)外的同類產(chǎn)品價(jià)值高達(dá)數(shù)10億盧幣。

在2023年4月,莫斯科電子技術(shù)學(xué)院承接貿(mào)工部開發(fā)制造芯片的光刻機(jī)項(xiàng)目。這個(gè)項(xiàng)目的主要投資者是俄羅斯政府,首期投資資金為6.7億盧比資金,折合人民幣約為5,100萬元。有相關(guān)研發(fā)專家表示,目前已經(jīng)開發(fā)出兩套用于生產(chǎn)微電子納米結(jié)構(gòu)的裝置,這種研發(fā)結(jié)果有可能會(huì)解決俄羅斯在微電子領(lǐng)域技術(shù)的主權(quán)問題。項(xiàng)目的負(fù)責(zé)人表示使用這種設(shè)施創(chuàng)建的膜在可靠性以及靈敏度方向都會(huì)優(yōu)于其他材料,同時(shí),全部都是國(guó)產(chǎn)設(shè)備和技術(shù)。

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