上海新陽：干法蝕刻后清洗液已實現(xiàn)14nm以上技術(shù)節(jié)點全覆蓋

2022-09-21 17:40:03來源:

導(dǎo)讀《科創(chuàng)板日報》21日訊，上海新陽在互動平臺上表示，公司目前在手訂單產(chǎn)量飽滿，ArF光刻膠尚處于驗證階段。電鍍液及添加劑產(chǎn)品已覆蓋90-14nm

《科創(chuàng)板日報》21日訊，上海新陽在互動平臺上表示，公司目前在手訂單產(chǎn)量飽滿，ArF光刻膠尚處于驗證階段。電鍍液及添加劑產(chǎn)品已覆蓋90-14nm技術(shù)節(jié)點，干法蝕刻后清洗液已經(jīng)實現(xiàn)14nm以上技術(shù)節(jié)點全覆蓋。